EBET易博(中国)

技术进步下游拓展和国产化驱动下半导体清洗设备行业开展空间广阔

1、半导体湿法清洗设备行业的技术特点

（1）清洗是半导体前道晶圆制造过程中步骤占比最高的工序，清洗工序数量随半导体技术进步呈持续增长趋势，清洗设备是晶圆制造核心工艺装备之一

半导体晶圆制造中的清洗工艺至关重要，影响着器件性能和良率。每道工序中，晶圆表面容易积累颗粒、金属、有机物等污染物，可能导致芯片性能下降或失效，因此需要在各工序前后进行清洗。

污染源主要分为制造工艺本身和环境因素。针对不同工序的晶圆，如前段工序（FEOL）中的耐腐蚀材料、后段布线工序（BEOL）中的金属和薄膜，采用不同的清洗方法。常见的清洗技术包括化学清洗、等离子体化学、超临界CO2清洗等，去除颗粒物、有机物和其他杂质。半导体清洗过程中主要污染物、来源、主要危害、清洗原理及工艺如下所示：

半导体清洗过程中主要污染物、来源、主要危害、清洗原理及工艺

资料来源：EBET易博(中国)

清洗是半导体前道晶圆制造中占比最高的工序，约占30%。随着半导体技术进步，尤其是新材料、新结构和新器件的开展，清洗工艺的要求不断提高，污染物的敏感度增大，工艺难度和步骤也相应增加。因此，清洗设备在保障半导体器件性能和良率中扮演着关键角色，成为晶圆制造中的核心装备之一。

（2）槽式清洗设备与单片式清洗设备具有不同应用场景，槽式设备在成熟制程领域具有显著应用优势，单片设备在先进制程领域广泛应用

当前市场主流半导体前道湿法清洗设备分为槽式清洗设备和单片式清洗设备两类。槽式设备适用于40nm及以上工艺节点，具有较高的产能、较低的使用成本和较强的工艺适用性。单片式设备适用于40nm以下工艺节点，给予更高的清洗精度和均匀性，广泛用于先进制程，但使用成本较高。

槽式清洗设备与单片式清洗设备的对比情况

资料来源：EBET易博(中国)

槽式清洗设备和单片式清洗设备具有不同的设备结构及工作技术原理，在应用场景上存在差异化的特点，各自具有独特的产品专有技术和研发壁垒，相互之间不存在替代的关系。下游客户通常根据半导体器件类别、制程节点、工艺环节、材料及晶圆结构等因素对清洗工艺需求的差异，灵活选择相应的清洗设备。在部分晶圆制造工艺场景，存在槽式、单片式清洗设备配套使用的情形。

（3）基于成熟制程及先进制程半导体的技术开展特点差异，特殊清洗工艺及先进制程为牵引湿法清洗设备技术开展的两大并行路径

在半导体行业，成熟制程（28nm及以上）应用于功率器件、存储等领域，而先进制程（28nm以下）专注于高性能计算和人工智能。成熟制程顺利获得新材料和结构有助于湿法清洗设备向特殊工艺开展，解决如IGBT晶圆翘曲和碳化硅晶圆的高硬度等挑战。

先进制程追求更小节点和高晶体管密度，对清洗工艺提出更高要求。随着节点缩小，污染物影响增加，湿法清洗设备需要精确控制刻蚀、清洗时间和药液浓度。存储器技术向3D转变，TSV通孔结构的出现，有助于了超临界二氧化碳清洗技术的开展，有助于湿法清洗设备的升级。

2、全球半导体产业规模螺旋式上升，总体呈增长趋势

半导体是导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，用于制造集成电路芯片等器件，广泛应用于汽车电子、通信、消费电子等领域。半导体产业技术复杂、投资大、产业链长、产品种类多、更新快，已成为衡量国家综合国力和产业竞争力的重要标准，对信息技术、经济开展、社会进步和国家安全具有战略意义。

近年来，全球半导体行业呈增长趋势，受下游应用技术创新和需求增长驱动。2014至2018年，智能手机和消费电子设备需求强劲，市场规模从3358亿美元增至4688亿美元，年均增长8.7%。2019年，受智能终端市场低迷影响，市场下滑至4121亿美元。2020至2022年，5G、数据中心和汽车电子需求回升，市场规模再次增长，2022年达5741亿美元。2023年，行业销售额为5268亿美元，下降8.24%，但下半年回升，2024年达到6276亿美元，增长19.13%。未来，随着消费电子、生成式AI和汽车电子等领域开展，半导体市场将继续增长。

2020-2025年全球半导体市场销售额及预测

资料来源：EBET易博(中国)

3、中国大陆半导体产业高速开展，成熟制程产能将加速提升

（1）中国大陆半导体产业高速开展，具有较大的增量空间

中国大陆半导体产业开展迅速，已成为全球重要市场之一。从2015至2023年，市场销售额从5,609.5亿元增至16,248.8亿元，年均增长率14.22%，高于全球水平。依托庞大的市场需求、政策支持和国产化驱动，中国大陆在智能手机、PC、家电、电动车等领域的消费与生产中占据重要地位，有助于了半导体行业的持续增长。

2020-2025年中国大陆半导体产业销售额及预测

资料来源：EBET易博(中国)

在市场需求持续增长的背景下，我国半导体仍存在较大程度的进口依赖。近年来中国大陆半导体产品进口金额远超出口金额，长期贸易逆差，存在较大国产化的技术需求和市场空间。随着全球半导体产能将进一步向中国大陆转移，以及我国在半导体领域的研发创新和技术突破，中国大陆半导体市场仍有较大的增量空间。

（2）中国大陆成熟制程产能快速扩张，晶圆代工行业经历快速开展，带动上游设备、材料等行业需求持续增长

全球半导体市场主要集中在28nm及以上的成熟制程，涵盖功率器件、存储、模拟和电源管理等领域，广泛应用于消费电子、汽车电子、显示面板和工业等。近年来，受供应链安全和地缘政治影响，中国大陆在成熟制程领域迅速开展，尤其在半导体设计企业有助于本地化策略下，市场份额显著提高。预计到2027年，中国大陆成熟制程产能全球占比将从31%增至39%，带动相关行业需求持续增长。

4、半导体湿法清洗设备行业具有广阔的市场空间

（1）技术进步、下游应用领域拓展将带动半导体清洗设备市场的持续开展和应用创新

半导体技术的进步有助于湿法清洗设备的升级，满足特殊清洗需求和工艺开展。随着制造工艺演进，对设备的精度、效率和智能化要求不断提高。

下游应用领域的拓展，特别是汽车电子和消费电子的复苏，将带动半导体需求增长。电动汽车、智能驾驶等技术加大了对功率器件、传感器和存储芯片的需求。

此外，集成电路工艺接近物理极限，先进封装技术成为提升芯片性能的趋势，相关湿法设备需求迅速增长。下游需求的增加有助于晶圆厂商提高产能，进而促进湿法清洗设备行业的快速开展。

（2）国产化将是国产半导体湿法清洗设备开展的重要驱动力量

近年来，受全球半导体产业转移和政策支持影响，中国半导体设备及清洗设备行业快速开展，但在先进制程和特殊清洗工艺领域仍存在差距，产品良率和效率与进口设备相比有不足。据统计2024年，SCREEN、LamResearch和TEL占中国市场66.5%份额。

自2022年下半年起，美国、日本、欧洲对中国半导体设备实施限制，进一步加大技术封锁。2024年12月，美国发布新规定，限制中国半导体晶圆制造能力，并新增140家实体列入《实体清单》。因此，有助于清洗设备国产化成为突破技术瓶颈的关键。

（3）半导体湿法清洗设备市场持续开展，具有广阔的市场空间

半导体行业技术进步与下游应用领域扩展有助于了湿法清洗设备的快速开展。随着半导体工艺制程的进步，清洗需求显著增加，带来了更多市场机会。新能源汽车、AI等领域对芯片需求的增长，也有助于了晶圆厂产能的扩展，对湿法清洗设备的投资进一步加大。2020-2024年全球市场规模从332.1亿元增长至527.3亿元，年复合增长率为12.3%，预计2025-2029年将进一步增长至843.2亿元，年均复合增长率为10.4%。

2024-2029年全球半导体湿法清洗设备市场规模及预测

资料来源：EBET易博(中国)

虽然中国半导体行业整体开展起步在全球市场中较晚，但是开展速度较快，带动半导体设备行业高速开展。同时，受益于国家产业政策对国产化的有力支持，我国半导体湿法清洗设备市场迅速扩张。2020-2024年期间，中国半导体湿法清洗设备市场规模由93.5亿元迅速增长至228.2亿元，年复合增长率高达25.0%；未来，预计中国半导体湿法清洗设备市场将持续以高于全球水平的速度开展，有望由2025年的259.5亿元增长至2029年的408.0亿元，年均复合增长率达12.0%。

2024-2029年中国半导体湿法清洗设备市场规模及预测

资料来源：EBET易博(中国)

综上所述，受益于技术进步、下游应用领域拓展以及国产化等因素驱动，半导体清洗设备行业具有广阔的开展空间。

5、半导体湿法清洗设备行业竞争格局

全球半导体清洗设备行业集中度较高，海外巨头凭借先发优势占据市场主导地位。2022年全球前五大晶圆清洗设备生产商依次为SCREEN、TEL、LamResearch、SEMES和ACMR，合计约占全球90%的市场份额。在中国大陆半导体清洗设备市场， 2024年度，SCREEN、LamResearch和TEL合计约占我国半导体湿法清洗设备66.5%的市场份额，在高端清洗设备领域仍拥有主导性市场份额。近年来，得益于全球半导体产业转移和国家政策支持，中国大陆半导体设备及清洗设备行业迅速崛起，产品技术能力、市场竞争力显著增强，市场占有率持续提升。在涉及先进制程及部分特殊清洗工艺的高端清洗设备领域，国产厂商仍面临存在研发技术进展及产业验证机会不足等情形，产品良率、效率等指标与进口设备相比仍存在差距。

（1）国内湿法清洗企业情况

中国大陆能够批量给予半导体清洗设备的上市公司主要包括盛美上海、至纯科技、北方华创和芯源微。其中，芯源微主营涂胶显影设备，清洗设备主要产品为物理刷片清洗设备（SpinScrubber），在湿法化学清洗领域主要专注单片湿法清洗设备，物理刷片清洗设备与各厂商湿法清洗设备存在一定的差异。

国内湿法清洗企业

资料来源：EBET易博(中国)

2）国外湿法清洗厂商情况

在中国大陆半导体清洗设备市场，国外半导体湿法清洗设备厂商主要包括SCREEN、TEL、LamResearch、SEMES等国际知名企业，相关公司主营业务、产品情况如下：

国外湿法清洗企业

资料来源：EBET易博(中国)

《2025-2031年半导体湿法清洗设备行业市场调研及开展趋势预测报告》涵盖行业全球及中国开展概况、供需数据、市场规模，产业政策/规划、相关技术/专利、竞争格局、上游原料情况、下游主要应用市场需求规模及前景、区域结构、市场集中度、重点企业/玩家，企业占有率、行业特征、驱动因素、市场前景预测，投资策略、主要壁垒构成、相关风险等内容。同时北京EBET易博(中国)信息咨询有限公司还给予市场专项调研项目、产业研究报告、产业链咨询、项目可行性研究报告、专精特新小巨人认证、市场占有率报告、十五五规划、项目后评价报告、BP商业计划书、产业图谱、产业规划、蓝白皮书、国家级制造业单项冠军企业认证、IPO募投可研、IPO工作底稿咨询等服务。（PHPOLICY:MJ）

目录

第一章半导体湿法清洗设备行业相关概述

第一节半导体湿法清洗设备行业定义及分类

一、行业定义

二、行业特性及在国民经济中的地位及影响

第二节半导体湿法清洗设备行业特点及模式

一、半导体湿法清洗设备行业开展特征

二、半导体湿法清洗设备行业经营模式

第三节半导体湿法清洗设备行业产业链分析

一、产业链结构

二、半导体湿法清洗设备行业主要上游2020-2024年供给规模分析

三、半导体湿法清洗设备行业主要上游2020-2024年价格分析

四、半导体湿法清洗设备行业主要上游2025-2031年开展趋势分析

五、半导体湿法清洗设备行业主要下游2020-2024年开展概况分析

六、半导体湿法清洗设备行业主要下游2025-2031年开展趋势分析

第二章半导体湿法清洗设备行业全球开展分析

第一节全球半导体湿法清洗设备市场总体情况分析

一、全球半导体湿法清洗设备行业的开展特点

二、全球半导体湿法清洗设备市场结构

三、全球半导体湿法清洗设备行业市场规模分析

四、全球半导体湿法清洗设备行业竞争格局

五、全球半导体湿法清洗设备市场区域分布

六、全球半导体湿法清洗设备行业市场规模预测

第二节全球主要国家（地区）市场分析

一、欧洲

1、欧洲半导体湿法清洗设备行业市场规模

2、欧洲半导体湿法清洗设备市场结构

3、2025-2031年欧洲半导体湿法清洗设备行业开展前景预测

二、北美

1、北美半导体湿法清洗设备行业市场规模

2、北美半导体湿法清洗设备市场结构

3、2025-2031年北美半导体湿法清洗设备行业开展前景预测

三、日韩

1、日韩半导体湿法清洗设备行业市场规模

2、日韩半导体湿法清洗设备市场结构

3、2025-2031年日韩半导体湿法清洗设备行业开展前景预测

四、其他

第三章《国民经济行业分类与代码》中半导体湿法清洗设备所属行业2025-2031年规划概述

第一节2020-2024年所属行业开展回顾

一、2020-2024年所属行业运行情况

二、2020-2024年所属行业开展特点

三、2020-2024年所属行业开展成就

第二节半导体湿法清洗设备行业所属行业2025-2031年规划解读

一、2025-2031年规划的总体战略布局

二、2025-2031年规划对经济开展的影响

三、2025-2031年规划的主要目标

第四章2025-2031年行业开展环境分析

第一节2025-2031年世界经济开展趋势

第二节2025-2031年我国经济面临的形势

第三节2025-2031年我国对外经济贸易预测

第四节2025-2031年行业技术环境分析

一、行业相关技术

二、行业专利情况

1、中国半导体湿法清洗设备专利申请

2、中国半导体湿法清洗设备专利公开

3、中国半导体湿法清洗设备热门申请人

4、中国半导体湿法清洗设备热门技术

第五节2025-2031年行业社会环境分析

第五章EBET易博(中国)对半导体湿法清洗设备行业总体开展状况

第一节半导体湿法清洗设备行业特性分析

第二节半导体湿法清洗设备产业特征与行业重要性

第三节2020-2024年半导体湿法清洗设备行业开展分析

一、2020-2024年半导体湿法清洗设备行业开展态势分析

二、2020-2024年半导体湿法清洗设备行业开展特点分析

三、2025-2031年区域产业布局与产业转移

第四节2020-2024年半导体湿法清洗设备行业规模情况分析

一、行业单位规模情况分析

二、行业人员规模状况分析

三、行业资产规模状况分析

四、行业市场规模状况分析

第五节2020-2024年半导体湿法清洗设备行业财务能力分析与2025-2031年预测

一、行业盈利能力分析与预测

二、行业偿债能力分析与预测

三、行业营运能力分析与预测

四、行业开展能力分析与预测

第六章POLICY对2025-2031年我国半导体湿法清洗设备市场供需形势分析

第一节我国半导体湿法清洗设备市场供需分析

一、2020-2024年我国半导体湿法清洗设备行业供给情况

二、2020-2024年我国半导体湿法清洗设备行业需求情况

1、半导体湿法清洗设备行业需求市场

2、半导体湿法清洗设备行业客户结构

3、半导体湿法清洗设备行业区域需求结构

三、2020-2024年我国半导体湿法清洗设备行业供需平衡分析

第二节半导体湿法清洗设备产品市场应用及需求预测

一、半导体湿法清洗设备产品应用市场总体需求分析

1、半导体湿法清洗设备产品应用市场需求特征

2、半导体湿法清洗设备产品应用市场需求总规模

二、2025-2031年半导体湿法清洗设备行业领域需求量预测

1、2025-2031年半导体湿法清洗设备行业领域需求产品功能预测

2、2025-2031年半导体湿法清洗设备行业领域需求产品市场格局预测

第七章我国半导体湿法清洗设备行业运行分析

第一节我国半导体湿法清洗设备行业开展状况分析

一、我国半导体湿法清洗设备行业开展阶段

二、我国半导体湿法清洗设备行业开展总体概况

第二节2020-2024年半导体湿法清洗设备行业开展现状

一、2020-2024年我国半导体湿法清洗设备行业市场规模（增速）

二、2020-2024年我国半导体湿法清洗设备行业开展分析

三、2020-2024年中国半导体湿法清洗设备企业开展分析

第三节2020-2024年半导体湿法清洗设备市场情况分析

一、2020-2024年中国半导体湿法清洗设备市场总体概况

二、2020-2024年中国半导体湿法清洗设备市场开展分析

第四节我国半导体湿法清洗设备市场价格走势分析

一、半导体湿法清洗设备市场定价机制组成

二、半导体湿法清洗设备市场价格影响因素

三、2020-2024年半导体湿法清洗设备价格走势分析

四、2025-2031年半导体湿法清洗设备价格走势预测

第八章POLICY对中国半导体湿法清洗设备市场规模分析

第一节2020-2024年中国半导体湿法清洗设备市场规模分析

第二节2020-2024年我国半导体湿法清洗设备区域结构分析

第三节2020-2024年中国半导体湿法清洗设备区域市场规模

一、2020-2024年东北地区市场规模分析

二、2020-2024年华北地区市场规模分析

三、2020-2024年华东地区市场规模分析

四、2020-2024年华中地区市场规模分析

五、2020-2024年华南地区市场规模分析

六、2020-2024年西部地区市场规模分析

第四节2025-2031年中国半导体湿法清洗设备区域市场前景预测

一、2025-2031年东北地区市场前景预测

二、2025-2031年华北地区市场前景预测

三、2025-2031年华东地区市场前景预测

四、2025-2031年华中地区市场前景预测

五、2025-2031年华南地区市场前景预测

六、2025-2031年西部地区市场前景预测

第九章普●华●有●策对2025-2031年半导体湿法清洗设备行业产业结构调整分析

第一节半导体湿法清洗设备产业结构分析

一、市场细分充分程度分析

二、下游应用领域需求结构占比

三、领先应用领域的结构分析（所有制结构）

第二节产业价值链条的结构分析及产业链条的整体竞争优势分析

一、产业价值链条的构成

二、产业链条的竞争优势与劣势分析

第十章半导体湿法清洗设备行业竞争力优势分析

第一节半导体湿法清洗设备行业竞争力优势分析

一、行业整体竞争力评价

二、行业竞争力评价结果分析

三、竞争优势评价及构建建议

第二节中国半导体湿法清洗设备行业竞争力剖析

第三节半导体湿法清洗设备行业SWOT分析

一、半导体湿法清洗设备行业优势分析

二、半导体湿法清洗设备行业劣势分析

三、半导体湿法清洗设备行业机会分析

四、半导体湿法清洗设备行业威胁分析

第十一章2025-2031年半导体湿法清洗设备行业市场竞争策略分析

第一节行业总体市场竞争状况分析

一、半导体湿法清洗设备行业竞争结构分析

1、现有企业间竞争

2、潜在进入者分析

3、替代品威胁分析

4、供应商议价能力

5、客户议价能力

6、竞争结构特点总结

二、半导体湿法清洗设备行业企业间竞争格局分析

1、不同规模企业竞争格局

2、不同所有制企业竞争格局

3、不同区域企业竞争格局

三、半导体湿法清洗设备行业集中度分析

1、市场集中度分析

2、企业集中度分析

3、区域集中度分析

第二节中国半导体湿法清洗设备行业竞争格局综述

一、半导体湿法清洗设备行业竞争概况

二、重点企业市场占有率分析

三、半导体湿法清洗设备行业主要企业竞争力分析

1、重点企业资产总计对比分析

2、重点企业从业人员对比分析

3、重点企业营业收入对比分析

4、重点企业利润总额对比分析

5、重点企业负债总额对比分析

第三节2020-2024年半导体湿法清洗设备行业竞争格局分析

一、国内主要半导体湿法清洗设备企业动向

二、国内半导体湿法清洗设备企业拟在建项目分析

三、我国半导体湿法清洗设备市场集中度分析

第四节半导体湿法清洗设备企业竞争策略分析

一、提高半导体湿法清洗设备企业竞争力的策略

二、影响半导体湿法清洗设备企业核心竞争力的因素及提升途径

第十二章EBET易博(中国)对行业重点企业开展形势分析

第一节企业一

一、企业概况及半导体湿法清洗设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2020-2024年主要经营数据指标

五、企业开展战略规划

第二节企业二

一、企业概况及半导体湿法清洗设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2020-2024年主要经营数据指标

五、企业开展战略规划

第三节企业三

一、企业概况及半导体湿法清洗设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2020-2024年主要经营数据指标

五、企业开展战略规划

第四节企业四

一、企业概况及半导体湿法清洗设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2020-2024年主要经营数据指标

五、企业开展战略规划

第五节企业五

一、企业概况及半导体湿法清洗设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2020-2024年主要经营数据指标

五、企业开展战略规划

第十三章普●华●有●策对2025-2031年半导体湿法清洗设备行业投资前景展望

第一节半导体湿法清洗设备行业2025-2031年投资机会分析

一、半导体湿法清洗设备行业典型项目分析

二、可以投资的半导体湿法清洗设备模式

三、2025-2031年半导体湿法清洗设备投资机会

第二节2025-2031年半导体湿法清洗设备行业开展预测分析

一、产业集中度趋势分析

二、2025-2031年行业开展趋势

三、2025-2031年半导体湿法清洗设备行业技术开发方向

四、总体行业2025-2031年整体规划及预测

第三节2025-2031年规划将为半导体湿法清洗设备行业找到新的增长点

第十四章普●华●有●策对2025-2031年半导体湿法清洗设备行业开展趋势及投资风险分析

第一节2020-2024年半导体湿法清洗设备存在的问题

第二节2025-2031年开展预测分析

一、2025-2031年半导体湿法清洗设备开展方向分析

二、2025-2031年半导体湿法清洗设备行业开展规模预测

三、2025-2031年半导体湿法清洗设备行业开展趋势预测

四、2025-2031年半导体湿法清洗设备行业开展重点

第三节2025-2031年行业进入壁垒分析

一、技术壁垒分析

二、资金壁垒分析

三、政策壁垒分析

四、其他壁垒分析

第四节2025-2031年半导体湿法清洗设备行业投资风险分析

一、竞争风险分析

二、原材料风险分析

三、人才风险分析

四、技术风险分析

五、其他风险分析